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      真空測量與真空規校準


       

      真空度測量與真空規校準是真空技術的重要組成部分。

      真空度測量指的是在低于大氣壓的條件下,對氣體全壓力的測童。

      真空計是測量低于1.01X10-5PA(—個大氣壓 ) 的全壓力的測量儀器,一般由真空規和控制線路兩部分組成。

      真空規可分為絕對真空規和相對真空規。絕對真空規是從所測出的物理量就能直接計算出氣體壓力的真空規。相對真空規是根據輸出倍號與氣體壓力之間的關系,通過真空測量標 準校準后才能確定的真空規。

      真空測量標準可分為絕對真空校準裝置和相對真空校準裝置兩大類。絕對真空校準裝置 是從所測出的物理直接計算出壓力來校準真空規。相對真空校準裝置是相對真空規作 為主標準器,必須經過絕對真空校準裝置的校準,然后對真空規進行校準。

      目前,從大氣壓到10-10PA壓力范圍內真空度的測量問題已經解決了。一般是采用不同 類型的真空規去測量不同壓力區間的氣體壓力。但是在解決10-11PA-10-13PA壓力范圍的極高真空測量方面進展緩慢。要用已有的真空規直接測量特殊條件下的真空度是困難的,還 要對規的結構、工藝、理論等多方面的問題進行探討。真空系統中稀薄氣流的非均勻分布問 題,以及對非均勻氣流的壓力測量,已成為近年來詳加研究的課題。

      在從大氣壓到10-10PA壓力范圍內,已有各種類型的絕對真空規和絕對真空校準裝置,并從大氣壓到l0-7PA壓力范圍內開展了各種雙邊和多邊真空量值的比對工作,取得了較好的一致性。在10-8PA-QO-10PA壓力范圍內沒有進行過任何比對。因此要達到真空量值的國際統一,還有大量的工作要做。



       

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